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在1500～1540℃熔融，并进行搅拌、澄清、气泡消除后。可浇出热膨胀系数为35～59×10-7/℃的均质母体玻璃。为得到超低膨胀微晶玻璃，须将均质母体玻璃进行核化和晶化两个阶段的微晶化热处理，其核化温度为630～750℃，四川质量超低膨胀微晶玻璃制造，晶化温度为840～950℃，在微晶化过程中，玻璃内由[SiO4]及[AlO4]形成的无规则网络转变为晶体内的规则排列。由于LixAlxSi3-XO6晶体在C轴方向的负膨胀，其晶粒的C轴方向呈不规则排列，抵消了周围其它相的正膨胀，控制结晶相的比例，可实现**膨胀，获得超低膨胀微晶玻璃。由晶体学知识可知，β-锂霞石属单斜晶系，β-锂辉石属四方晶系，而本发明的低膨胀微晶玻璃的主结晶相(LixAlxSi3-XO6)属六方晶系，从而在结构上有别于前两种低膨胀微晶玻璃，其有关粉末X射线衍射数据可参考JCPDS17-533、22-408，四川质量超低膨胀微晶玻璃制造、31-707。下面给出本系统的五个化学配方实例，如表Ⅰ所示，其化学组份均以氧化物的形式按重量百分比计，其具体微晶化热处理工艺参数及热膨胀系数如表Ⅱ所示。本发明相比已有技术具有如下优点1、新的玻璃系统Li2O-Al2O3-ZnO-SiO2的选用，**降低了超低膨胀微晶玻璃制品的制作成本。2，四川质量超低膨胀微晶玻璃制造、系统中ZnO的引入，使玻璃的熔化温度降低了100～150℃。
1、离子源清理和中和器灯丝更换较频繁； 2、一般镀膜速率较慢，每秒几十埃； 3、不适宜制备较大面积薄膜。 三、机器运行时的注意事项 1、关注真空度指标； 2、保持机器内舱各部位的清洁； 3、测试并记录镀好的石英振子主要指标，如：频率、电阻、DLD等； 4、溅镀后的石英振子要用3M胶带检查其牢固度； 5、根据镀出石英振子的散差，调整遮挡板的各部尺寸； 6、检查并记录抽真空的时间，如有延长，立刻检查造成的原因； 7、将不良品挑出：电极错位、划伤、脏污、掉银等。
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